概要 LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。 产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。 特点 模拟式热质式流量计/流量控制器： 低单价 环境温度补正 可应用的流率范围广： 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM 0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM 高精度 ±1%(≤15SLM) ±1.5%(＞15SLM) 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能 国际兼容 应用 工业设施的气体供应监测/控制。 气体分析设备。 固定气体流量控制。 气体混合或分离设备 标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。 标准状态规定为： 标准温度………………0℃（273.15K） 标准压强………………101325Pa 输入输出 低价格，高性能 LF400 模拟式系列 热式质量流量計/流量控制器 输入设定电压…………0～ 5.00V 输出电压检测…………0～ 5.00V (高耐压型) 型号 LF400-F □ □ － □□□ － □□□ － □ □ □ 型式 A 模拟式 D 数字式 功能 M 流量计 C 流量控制器 流量范围 ABC 气体种类 013 N2 008 Air 015 O2 004 Ar 025 CO2 001 He FFF 其他 接头 1/4¨VCR 1 1/2¨VCR 2 3 mm SWL 3 6 mm SWL 4 其他 F 讯号 DC 0~5V 1 其他 2 电源 DC /-15V 1 流量范围是以mL/min，L/min 为单位 例： 5mL/min 表示为005 500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L 规格 (热式) 功能 流量计/控制器 基本型号 LF400-F 满量程流量范围(N2) SCCM 0～5、10、20、30、50、100、200、500 SLM 0～1、2、 3、 5、 10、15、20、 30 精度(％F.S) ±1(≤15SLM) ±1.5(＞15SLM) 控制阀动作型式 常闭式 线性(％F.S) ±0.5～1(≤15SLM) ±1.5％(＞15SLM) 重复精度(％F.S) ±0.2 响应时间(sec) ≤1 流量输出信号 0～5 VDC 流量设定信号 0～5 VDC 电器接头 DB15 pin(接头) 工作环境温度 (℃) 5～45 工作压差 (MPa) 0.1～0.5 漏率 atm.cc/sec He 1×10-9 较大耐压 15MPa 介质接触材质 304、316、316L 密封材料 氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶、聚四氟乙烯 接头尺寸 VCR 1/4¨、1/2¨ Swagelok1/8¨、1/4¨ 、3/8¨ 、1/2¨或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm 电源要求 15V,50mA;-15V,200mA 尺寸/定义图 设定/显示/电源一体型控制器 LF-1D 1: 输出电源： 15V±5% 500mA -15V±5% 500mA2： 基准源： 5.00V±0.1％ 5mA3： 供电电源：8VDC-24VDC，50Hz±5%4： 输入输出信号：电压信号0-5V，电流信号4-20mA5： 外形尺寸：96×96×125mm6： 显示器：128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光7： 较大功耗：8w8： 控制通道：单路控制显示9： 基本误差：±0.2%FS10：环境温度：0-50℃11：环境湿度：0-85%RH12：防护等级：IP40